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Hyper QV WLI 363 系列 — 非接触式 3D 测量机

Hyper QV WLI 363 系列 — 非接触式 3D 测量机
  产品详情

Hyper QV WLI 363 系列 — 非接触式 3D 测量机

? 1 台设备即可实现坐标,尺寸和 3D 形状的非接触测量。

配有白光干涉仪的高精度、双镜头影像测量系统。

白光干涉仪利用高纵横比对形状进行准确测量。

标准影像测量功能能够连续不间断地进行坐标、尺寸和 3D 形状测量。

大工作台能准确地处理大尺寸工件,如印制电路板。

                                                  Hyper QV WLI 302                Hyper QV WLI 404                     Hyper QV WLI 606

测量范围 (X×Y×Z)影像测量区域       300×200×190 mm               400×400×240mm                      600×650×220mm

                         WLI 测量区域 *1    215×200×190 mm               315×400×240mm                      515×650×220mm

WLI 光学测头装置

视场 (H×V)10X 镜头 :                                         约 0.32×0.24mm / 25X 镜头 : 约 0.13×0.10mm

重复精度2σ?                                                                                   0.08μm

Z 轴扫描范围 *2                                                                                170μm


影像光学测头装置

放大倍率转换系统                                                                          PPT1X-2X-6X

影像测量方法                                                                               黑白CCD 照相机

照明装置      同轴照明                                                                  白色 LED

                   透射照明                                                                  白色 LED

                   程控环形照明                                                           白色 LED


测量精度 E1X, E1Y                                                                   (0.8+2L/1000)μm

              E1Z                                                                          (1.5+2L/1000)μm

              E2XY                                                                        (1.4+3L/1000)μm

主装置

分辨力                                                                                     0.01μm

台面最大承重                              15kg                                             25kg                                                  35kg

导向系统直动式硬轴承

尺寸 (W×D×H)859×950×1606 mm1027×1407×1781 mm1309×1985×1792 mm

重量 (包括防振台架)约 490kg约 1160kg约 2275kg


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